文献
J-GLOBAL ID:201202258829429327
整理番号:12A1212299
半導体ウエハサイズ転換におけるAMHS技術選択のための意思決定過程における重要な変数:探索研究
Critical Variables in the Decision-Making Process for AMHS Technology Selection in Semiconductor Wafer Size Transitions: Exploratory Study
著者 (3件):
TEMPONI Cecilia
(Texas State Univ., TX, USA)
,
JIMENEZ Jesus A.
(Texas State Univ., TX, USA)
,
MENDEZ MEDIAVILLA Francis A.
(Texas State Univ., TX, USA)
資料名:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻:
25
号:
3
ページ:
408-419
発行年:
2012年08月
JST資料番号:
T0521A
ISSN:
0894-6507
CODEN:
ITSMED
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)