文献
J-GLOBAL ID:201202258946498011
整理番号:12A1098737
高度に集積可能なシリコン熱気体流量センサ
A highly integratable silicon thermal gas flow sensor
著者 (4件):
PALMER Kristoffer
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
KRATZ Henrik
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
NGUYEN Hugo
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
THORNELL Greger
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
22
号:
6
ページ:
065015,1-15
発行年:
2012年06月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)