文献
J-GLOBAL ID:201202259005332550
整理番号:12A1466388
部位特異的走査型拡散抵抗顕微鏡によるホウ素ドーパント変動の直接観察
Direct Observation of Boron Dopant Fluctuation by Site-Specific Scanning Spreading Resistance Microscopy
著者 (12件):
ZHANG L.
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
MITANI Y.
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
KINOSHITA A.
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
TAKENO S.
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
SUGURO K.
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
MIZUSHIMA I.
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
MORI S.
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
YAMAMOTO K.
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
KOGA J.
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
HARA K.
(Toshiba Corp., Oita, JPN)
,
HAYASE Y.
(Toshiba Corp., Oita, JPN)
,
OGATA S.
(Toshiba Corp., Oita, JPN)
資料名:
Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium
(Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻:
2012 Vol.1
ページ:
84-88
発行年:
2012年
JST資料番号:
A0631A
ISSN:
1541-7026
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)