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文献
J-GLOBAL ID：201202259128631837
整理番号：12A0153049
微小パイプ充填種結晶に成長した4H-SiCバルク結晶の欠陥キャラクタリゼーション
Defect Characterization of 4H-SiC Bulk Crystals Grown on Micropipe Filled Seed Crystals
KATO Tomohisa
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KOJIMA Kazutoshi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
NISHIZAWA Shin-ichi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
ARAI Kazuo
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Materials Science Forum
(Materials Science Forum)
巻： 483/485 ページ： 315-318 発行年： 2005年
JST資料番号： D0716B ISSN： 0255-5476 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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