文献
J-GLOBAL ID:201202259478796642
整理番号:12A0165399
無線周波数基板バイアスによる誘導放電における結合効果
Coupling effects in inductive discharges with radio frequency substrate biasing
著者 (3件):
SCHULZE J.
(Inst. for Plasma and Atomic Physics, Ruhr-University Bochum, Bochum, DEU)
,
SCHUENGEL E.
(Inst. for Plasma and Atomic Physics, Ruhr-University Bochum, Bochum, DEU)
,
CZARNETZKI U.
(Inst. for Plasma and Atomic Physics, Ruhr-University Bochum, Bochum, DEU)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
100
号:
2
ページ:
024102
発行年:
2012年01月09日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)