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文献
J-GLOBAL ID：201202261100705430
整理番号：12A0340186
水素化アモルファスシリコンの拘束高圧化学堆積
Confined High-Pressure Chemical Deposition of Hydrogenated Amorphous Silicon
BARIL Neil F.
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania, USA)
,
HE Rongrui
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania, USA)
,
DAY Todd D.
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania, USA)
,
SPARKS Justin R.
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania, USA)
,
KESHAVARZI Banafsheh
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania, USA)
,
KRISHNAMURTHI Mahesh
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania, USA)
,
BORHAN Ali
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania, USA)
,
GOPALAN Venkatraman
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania, USA)
,
PEACOCK Anna C.
(Univ. Southampton, Southampton, GBR)
,
HEALY Noel
(Univ. Southampton, Southampton, GBR)
,
SAZIO Pier J. A.
(Univ. Southampton, Southampton, GBR)
,
BADDING John V.
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania, USA)
資料名：
Journal of the American Chemical Society
(Journal of the American Chemical Society)
巻： 134 号： 1 ページ： 19-22 発行年： 2012年01月11日
JST資料番号： C0254A ISSN： 0002-7863 CODEN： JACSAT 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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