文献
J-GLOBAL ID:201202261167591626
整理番号:12A0235240
UVマスク検査用EBeyeMの性能
Performance of EBeyeM for EUV Mask Inspection
著者 (18件):
YAMAGUCHI Shinji
(Toshiba Corp., Kawasaki-shi, JPN)
,
NAKA Masato
(Toshiba Corp., Kawasaki-shi, JPN)
,
HIRANO Takashi
(Toshiba Corp., Kawasaki-shi, JPN)
,
ITOH Masamitsu
(Toshiba Corp., Kawasaki-shi, JPN)
,
KADOWAKI Motoki
(Toshiba Corp., Yokkaichi-shi, JPN)
,
KOIKE Tooru
(Toshiba Corp., Yokkaichi-shi, JPN)
,
YAMAZAKI Yuuichiro
(Toshiba Corp., Yokkaichi-shi, JPN)
,
TERAO Kenji
(Ebara Corp., Fujisawa-shi, JPN)
,
HATAKEYAMA Masahiro
(Ebara Corp., Fujisawa-shi, JPN)
,
WATANABE Kenji
(Ebara Corp., Fujisawa-shi, JPN)
,
SOBUKAWA Hiroshi
(Ebara Corp., Fujisawa-shi, JPN)
,
MURAKAMI Takeshi
(Ebara Corp., Fujisawa-shi, JPN)
,
KARIMATA Tsutomu
(Ebara Corp., Fujisawa-shi, JPN)
,
TSUKAMOTO Kiwamu
(Ebara Corp., Fujisawa-shi, JPN)
,
HAYASHI Takehide
(Ebara Corp., Fujisawa-shi, JPN)
,
TAJIMA Ryo
(Ebara Corp., Fujisawa-shi, JPN)
,
KIMURA Norio
(Ebara Corp., Fujisawa-shi, JPN)
,
HAYASHI Naoyo
(Dai Nippon Printing Co., Ltd, Fujimino-shi, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8166
号:
Pt.2
ページ:
81662F.1-81662F.8
発行年:
2011年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)