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文献
J-GLOBAL ID：201202261724233169
整理番号：12A0023131
オフ角制御高圧高温合成IIa型基板上へのCVD単結晶ダイヤモンドの合成と評価 2~CH4濃度による特性変化~
金子純一
(北大 院工学研究院)
,
佐竹良太
(北大 院工学研究院)
,
藤田文行
(北大 院工学研究院)
,
今野雄太
(北大 院工学研究院)
,
西紀彦
(北大 院工学研究院)
,
後藤拓人
(北大 院工学研究院)
,
渡辺幸志
(産業技術総合研)
,
茶谷原昭義
(産業技術総合研)
,
梅澤仁
(産業技術総合研)
,
坪内信輝
(産業技術総合研)
,
鹿田真一
(産業技術総合研)
,
磯部光孝
(核融合科研)
資料名：
ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
巻： 25th ページ： 258-259 発行年： 2011年12月07日
JST資料番号： L1241A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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