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文献
J-GLOBAL ID：201202261769177251
整理番号：12A1371176
サブミクロン亜鉛粒子の分散を使用した酸化亜鉛膜の形成
Formation of zinc oxide films using submicron zinc particle dispersions
RAJACHIDAMBARAM Meena S.
(School of Chemical, Biological and Environmental Engineering, Oregon State Univ., Corvallis, Oregon 97331)
,
VARGA Tamas
(Environmental Molecular Sciences Lab., Pacific Northwest National Lab., Richland, Washington 99354)
,
KOVARIK Libor
(Environmental Molecular Sciences Lab., Pacific Northwest National Lab., Richland, Washington 99354)
,
SANGHAVI Rahul
(Environmental Molecular Sciences Lab., Pacific Northwest National Lab., Richland, Washington 99354)
,
SHUTTHANANDAN Vaithiyalingam
(Environmental Molecular Sciences Lab., Pacific Northwest National Lab., Richland, Washington 99354)
,
THEVUTHASAN Suntharampillai
(Environmental Molecular Sciences Lab., Pacific Northwest National Lab., Richland, Washington 99354)
,
HAN Seung-yeol
(School of Chemical, Biological and Environmental Engineering, Oregon State Univ., Corvallis, Oregon 97331)
,
CHANG Chih-hung
(School of Chemical, Biological and Environmental Engineering, Oregon State Univ., Corvallis, Oregon 97331)
,
HERMAN Gregory S.
(School of Chemical, Biological and Environmental Engineering, Oregon State Univ., Corvallis, Oregon 97331)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30 号： 4 ページ： 041805-041805-7 発行年： 2012年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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