文献
J-GLOBAL ID:201202261800150995
整理番号:12A1217019
自己整合二重および四重パターン形成配置原理
Self-Aligned Double and Quadruple Patterning Layout Principle
著者 (6件):
NAKAYAMA Koichi
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
KODAMA Chikaaki
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
KOTANI Toshiya
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
NOJIMA Shigeki
(Toshiba Corp. R&D Center, Yokohama, JPN)
,
MIMOTOGI Shoji
(Toshiba Corp. R&D Center, Yokohama, JPN)
,
MIYAMOTO Shinji
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8327
ページ:
83270V.1-83270V.9
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)