文献
J-GLOBAL ID:201202261807436401
整理番号:12A1504456
非結晶相中でエッチしたPt/PbTiO3/Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3/Pt集積キャパシタの漏れ電流
Leakage Current of Pt/PbTiO3/PbZr0.3Ti0.7O3/PbTiO3/Pt Integrated Capacitors Etched in Non-Crystalline Phase
著者 (1件):
TANG Sanyuan
(Northeastern Univ., MA, USA)
資料名:
Ferroelectrics. Letters Section
(Ferroelectrics. Letters Section)
巻:
39
号:
1-3
ページ:
25-30
発行年:
2012年06月
JST資料番号:
H0934A
ISSN:
0731-5171
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)