文献
J-GLOBAL ID:201202261891559041
整理番号:12A1727356
局所酸化ナノリソグラフィーにおけるナノ規模空間電荷の検出と安定性
Detection and stability of nanoscale space charges in local oxidation nanolithography
著者 (3件):
BAUMGAERTEL T
(Chemnitz Univ. Technol., Chemnitz, DEU)
,
BORCZYSKOWSKI C v
(Chemnitz Univ. Technol., Chemnitz, DEU)
,
GRAAF H
(Univ. Kassel, Kassel, DEU)
資料名:
Nanotechnology
(Nanotechnology)
巻:
23
号:
9
ページ:
095707,1-7
発行年:
2012年03月09日
JST資料番号:
W0108A
ISSN:
0957-4484
CODEN:
NNOTER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)