文献
J-GLOBAL ID:201202262128642481
整理番号:12A1439716
MEMS:超低温ボロメータの製作
MEMS: Fabrication of cryogenic bolometers
著者 (7件):
KUNERT J.
(Inst. Photonic Technol., Jena, DEU)
,
ANDERS S.
(Inst. Photonic Technol., Jena, DEU)
,
MAY T.
(Inst. Photonic Technol., Jena, DEU)
,
ZAKOSARENKO V.
(Inst. Photonic Technol., Jena, DEU)
,
ZIEGER G.
(Inst. Photonic Technol., Jena, DEU)
,
KREYSA E.
(Max Planck Inst. Radioastronomy, Bonn, DEU)
,
MEYER H.-G.
(Inst. Photonic Technol., Jena, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8352
ページ:
83520F.1-83520F.6
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)