文献
J-GLOBAL ID:201202262514316017
整理番号:12A1321441
ナノインプリント技術で製作した3Dフィン状チャネルを持つポリSi TFTの特性調査
Study on Characteristics of Poly-Si TFTs With 3-D Finlike Channels Fabricated by Nanoimprint Technology
著者 (3件):
CHEN Henry J. H.
(National Chi Nan Univ., Nantou, TWN)
,
JHANG Jia-Rong
(National Chi Nan Univ., Nantou, TWN)
,
HUANG Chien-Jen
(National Chi Nan Univ., Nantou, TWN)
資料名:
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻:
59
号:
9
ページ:
2314-2320
発行年:
2012年09月
JST資料番号:
C0222A
ISSN:
0018-9383
CODEN:
IETDAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)