文献
J-GLOBAL ID:201202262546332979
整理番号:12A0965150
炭素ベースのスピン-オン有機ハードマスクによるサブ50nmのナノパターン
Sub 50nm Nano-Patterns with Carbon Based Spin-On Organic Hardmask
著者 (5件):
SHIN Ju-Hyeon
(Korea Univ., Seoul, KOR)
,
YANG Ki-Yeon
(Korea Univ., Seoul, KOR)
,
HAN Kang-Soo
(Korea Univ., Seoul, KOR)
,
KIM Hyeong-Seok
(Chung-Ang Univ., Seoul, KOR)
,
LEE Heon
(Korea Univ., Seoul, KOR)
資料名:
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
(Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻:
12
号:
4
ページ:
3364-3368
発行年:
2012年04月
JST資料番号:
W1351A
ISSN:
1533-4880
CODEN:
JNNOAR
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)