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文献
J-GLOBAL ID：201202263084634300
整理番号：12A1347940
SIMS分析用の新たな不感時間補正法と従来モデルの比較
Comparison of a new dead-time correction method and conventional models for SIMS analysis
TAKANO Akio
(NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN)
,
TAKENAKA Hisataka
(NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN)
,
ICHIMARU Satoshi
(NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN)
,
NONAKA Hidehiko
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名：
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻： 44 号： 9 ページ： 1287-1293 発行年： 2012年09月
JST資料番号： E0709A ISSN： 0142-2421 CODEN： SIANDQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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