文献
J-GLOBAL ID:201202263531501592
整理番号:12A0848374
中空陰極強化容量結合型高周波放電のparticle-in-cellシミュレーション
Particle-in-cell simulations of hollow cathode enhanced capacitively coupled radio frequency discharges
著者 (2件):
LAFLEUR T.
(Space Plasma, Power and Propulsion Group, Res. School of Physics and Engineering, The Australian National Univ. ...)
,
BOSWELL R. W.
(Space Plasma, Power and Propulsion Group, Res. School of Physics and Engineering, The Australian National Univ. ...)
資料名:
Physics of Plasmas
(Physics of Plasmas)
巻:
19
号:
2
ページ:
023508
発行年:
2012年02月
JST資料番号:
T0641B
ISSN:
1070-664X
CODEN:
PHPAEN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)