文献
J-GLOBAL ID:201202263559719739
整理番号:12A0340979
堆積速度への膜空隙率依存性の異常
Anomaly of film porosity dependence on deposition rate
著者 (4件):
STAGON Stephen P.
(Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of Connecticut, Storrs, Connecticut 06269, USA)
,
HUANG Hanchen
(Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of Connecticut, Storrs, Connecticut 06269, USA)
,
KEVIN BALDWIN J.
(MS K771, Los Alamos National Lab., Los Alamos, New Mexico 87545, USA)
,
MISRA Amit
(MS K771, Los Alamos National Lab., Los Alamos, New Mexico 87545, USA)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
100
号:
6
ページ:
061601
発行年:
2012年02月06日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)