文献
J-GLOBAL ID:201202263650702121
整理番号:12A1499481
陰極アーク蒸着によるCr-Al-O-N薄膜の構造特性および機械的特性
Structural and mechanical properties of Cr-Al-O-N thin films grown by cathodic arc deposition
著者 (6件):
KHATIBI A.
(Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., 581 83 Linkoeping, SWE)
,
SJOELEN J.
(SECO Tools AB, 737 82 Fagersta, SWE)
,
GRECZYNSKI G.
(Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., 581 83 Linkoeping, SWE)
,
JENSEN J.
(Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., 581 83 Linkoeping, SWE)
,
EKLUND P.
(Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., 581 83 Linkoeping, SWE)
,
HULTMAN L.
(Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., 581 83 Linkoeping, SWE)
資料名:
Acta Materialia
(Acta Materialia)
巻:
60
号:
19
ページ:
6494-6507
発行年:
2012年11月
JST資料番号:
A0316A
ISSN:
1359-6454
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)