文献
J-GLOBAL ID:201202264278533543
整理番号:12A1650164
ユタ電極アレイの脱絶縁のためのパリレンCのレーザと反応性イオンエッチングを使ったハイブリッドエッチング
Hybrid laser and reactive ion etching of Parylene-C for deinsulation of a Utah electrode array
著者 (6件):
YOO Je-Min
(Gwangju Inst. of Sci. and Technol., Gwangju, KOR)
,
YOO Je-Min
(Univ. Utah, UT, USA)
,
SONG Jong-In
(Gwangju Inst. of Sci. and Technol., Gwangju, KOR)
,
TATHIREDDY Prashant
(Univ. Utah, UT, USA)
,
SOLZBACHER Florian
(Univ. Utah, UT, USA)
,
RIETH Loren W
(Univ. Utah, UT, USA)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
22
号:
10
ページ:
105036,1-8
発行年:
2012年10月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)