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文献
J-GLOBAL ID：201202264380069304
整理番号：12A0588780
Hot-wire法により生成した水素ラジカルによるレジスト材料の分解反応機構 I
新井祐
(金沢工大)
,
渡邉誠
(金沢工大)
,
河野昭彦
(金沢工大)
,
山岸忠明
(金沢大)
,
堀邊英夫
(金沢工大)
,
堀邊英夫
(大阪大)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 59th ページ： ROMBUNNO.16A-A5-10 発行年： 2012年02月29日
JST資料番号： Y0054B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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