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文献
J-GLOBAL ID：201202264692181586
整理番号：12A0585975
走査電子顕微鏡下機械試験により評価されたLSI配線の局所付着強度
神谷庄司
(名古屋工大)
,
神谷庄司
(JST)
,
宍戸信之
(名古屋工大)
,
宍戸信之
(JST)
,
佐藤尚
(名古屋工大)
,
佐藤尚
(JST)
,
小岩康三
(名古屋工大)
,
小岩康三
(JST)
,
大宮正毅
(JST)
,
大宮正毅
(慶応大)
,
西田政弘
(名古屋工大)
,
西田政弘
(JST)
,
鈴木貴志
(富士通研)
,
中村友二
(富士通研)
,
野久尾毅
(JST)
,
野久尾毅
(日本電子)
,
長澤忠広
(JST)
,
長澤忠広
(日本電子)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 59th ページ： ROMBUNNO.17P-A5-3 発行年： 2012年02月29日
JST資料番号： Y0054B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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