文献
J-GLOBAL ID:201202264732857561
整理番号:12A1216987
テンプレートとして陽極酸化アルミニウム膜を用いたPDMS上におけるナノピラーパターンの製作
Fabrication nano-pillars pattern on PDMS using anodic aluminum oxide film as template
著者 (2件):
TING Yung-Chiang
(Far East Univ., Tainan, TWN)
,
SHY Shyi-Long
(National Nano Device Lab., Hsinchu, TWN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8323
ページ:
83232H.1-83232H.6
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)