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文献
J-GLOBAL ID：201202265071544517
整理番号：12A1216949
誘導自己組織化を用いたコンタクトホールの収縮プロセス
Contact Hole Shrink Process using Directed Self-Assembly
SEINO Yuriko
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
YONEMITSU Hiroki
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
SATO Hironobu
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
KANNO Masahiro
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
KATO Hikazu
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
KOBAYASHI Katsutoshi
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
KAWANISHI Ayako
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
AZUMA Tsukasa
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
MURAMATSU Makoto
(Tokyo Electron Kyushu Ltd., Kumamoto, JPN)
,
NAGAHARA Seiji
(Tokyo Electron Ltd., Tokyo, JPN)
,
KITANO Takahiro
(Tokyo Electron Kyushu Ltd., Kumamoto, JPN)
,
TOSHIMA Takayuki
(Tokyo Electron Kyushu Ltd., Kumamoto, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 8323 ページ： 83230Y.1-83230Y.7 発行年： 2012年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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