文献
J-GLOBAL ID:201202266179811119
整理番号:12A0328702
真空電子デバイス用のUV-LIGAと埋込み高分子モノフィラメントを使用した微細電子ビームトンネルの微小加工
Microfabrication of fine electron beam tunnels using UV-LIGA and embedded polymer monofilaments for vacuum electron devices
著者 (4件):
JOYE Colin D
(Naval Res. Lab., Washington, DC, USA)
,
CALAME Jeffrey P
(Naval Res. Lab., Washington, DC, USA)
,
NGUYEN Khanh T
(Beam-Wave Res., Inc., MD, USA)
,
GARVEN Morag
(SAIC, VA, USA)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
22
号:
1
ページ:
015010,1-10
発行年:
2012年01月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)