文献
J-GLOBAL ID:201202266181344072
整理番号:12A1439416
アドバンスノードにおける主パターンCD変動に対するSRAFサイズの影響
Influence of SRAF size on Main feature CD variation on advanced node
著者 (4件):
LO Wei Cyuan
(Uinted Microelectronics Corp., Tainan County, TWN)
,
CHEN Yi Chou
(Uinted Microelectronics Corp., Tainan County, TWN)
,
CHENG Yung Feng
(Uinted Microelectronics Corp., Tainan County, TWN)
,
CHEN Ming Jui
(Uinted Microelectronics Corp., Tainan County, TWN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8326
号:
Pt.2
ページ:
83262K.1-83262K.8
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)