文献
J-GLOBAL ID:201202266207751496
整理番号:12A0430785
ハイブリッドアーク増強マグネトロンスパッタリングにより堆積したTi-Al-Si-C-N硬質皮膜のトライボロジー挙動
Tribological behavior of Ti-Al-Si-C-N hard coatings deposited by hybrid arc-enhanced magnetron sputtering
著者 (4件):
WU Guizhi
(State Key Lab. for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an 710049, CHN)
,
MA Shengli
(State Key Lab. for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an 710049, CHN)
,
XU Kewei
(State Key Lab. for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an 710049, CHN)
,
CHU Paul K
(Dep. of Physics and Materials Sci., City Univ. of Hong Kong, 83 Tat Chee Avenue, Kowloon, CHN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
30
号:
2
ページ:
021501
発行年:
2012年03月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)