文献
J-GLOBAL ID:201202266847189743
整理番号:12A1421078
プラズマ中のヘキサメチルジシロキサン解離過程の比較
Comparison of Hexamethyldisiloxane Dissociation Processes in Plasma
著者 (2件):
JAUBERTEAU J. L.
(SPCTS, CNRS,, Limoges, FRA)
,
JAUBERTEAU I.
(SPCTS, CNRS,, Limoges, FRA)
資料名:
Journal of Physical Chemistry A
(Journal of Physical Chemistry A)
巻:
116
号:
35
ページ:
8840-8850
発行年:
2012年09月06日
JST資料番号:
C0334B
ISSN:
1089-5639
CODEN:
JPCAFH
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)