文献
J-GLOBAL ID:201202266868620509
整理番号:12A1439354
デュアルトーンフォトリソグラフィーの進展に寄与するイオン化カルバメート光酸/光塩基発生剤
Ionic Carbamate Photoacid/Photobase Generators for the Advancement of Dual Tone Photolithography
著者 (6件):
HALLETT-TAPLEY Geniece L.
(Univ. Ottawa, ON, CAN)
,
WEE Tse-Luen
(Univ. Ottawa, ON, CAN)
,
ELDO Joby
(SAFC Hitech, MA, USA)
,
JACKSON Edward A.
(Intel Corp., OR, USA)
,
BLACKWELL James M.
(Intel Corp., OR, USA)
,
SCAIANO Juan C.
(Univ. Ottawa, ON, CAN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8325
ページ:
83251T.1-83251T.10
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)