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J-GLOBAL ID：201202266939778486 整理番号：12A0597909

超音波振動を利用した非接触ハンドリング装置によるフラットパネル基板の搬送(第5報)-基板上面をオープンスペース化したガラス基板の搬送-

著者 (2件)：

曲山雄貴

(長岡技科大大学院)

磯部浩已

(長岡技科大工)

資料名：

精密工学会大会学術講演会講演論文集 (精密工学会大会シンポジウム資料集)

巻： 2012 号：春季(CD-ROM) ページ： ROMBUNNO.O22 発行年： 2012年03月01日
JST資料番号： Y0914A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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