文献
J-GLOBAL ID:201202267333239870
整理番号:12A0674441
MEMS歪センサに対する誘導加熱によるケイ素-鋼の高速接合
Rapid Silicon-to-Steel Bonding by Induction Heating for MEMS Strain Sensors
著者 (6件):
SOSNOWCHIK Brian D.
(Univ. California at Berkeley, CA, USA)
,
AZEVEDO Robert G.
(Univ. California at Berkeley, CA, USA)
,
MYERS David R.
(Univ. California at Berkeley, CA, USA)
,
CHAN Matthew W.
(Univ. California at Berkeley, CA, USA)
,
PISANO Albert P.
(Univ. California at Berkeley, CA, USA)
,
LIN Liwei
(Univ. California at Berkeley, CA, USA)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
21
号:
2
ページ:
497-506
発行年:
2012年04月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)