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文献
J-GLOBAL ID：201202267775726133
整理番号：12A1506344
MEMSに基づくPZT/PZTバイモルフ厚膜振動エネルギーハーベスタの製作と特性評価
Fabrication and characterization of MEMS-based PZT/PZT bimorph thick film vibration energy harvesters
XU R
(Technical Univ. Denmark (DTU Nanotech), Kongens Lyngby, DNK)
,
LEI A
(Technical Univ. Denmark (DTU Nanotech), Kongens Lyngby, DNK)
,
DAHL-PETERSEN C
(Technical Univ. Denmark (DTU Nanotech), Kongens Lyngby, DNK)
,
HANSEN K
(Meggitt Sensing Systems, Kvistgaard, DNK)
,
GUIZZETTI M
(Meggitt Sensing Systems, Kvistgaard, DNK)
,
BIRKELUND K
(Technical Univ. Denmark (DTU Nanotech), Kongens Lyngby, DNK)
,
THOMSEN E V
(Technical Univ. Denmark (DTU Nanotech), Kongens Lyngby, DNK)
,
HANSEN O
(Technical Univ. Denmark (DTU Nanotech), Kongens Lyngby, DNK)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22 号： 9 ページ： 094007,1-9 発行年： 2012年09月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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