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文献
J-GLOBAL ID：201202268048497896
整理番号：12A0189713
CMUTに基づく化学センサに対する2段階コーティング技法
A 2-step coating technique for CMUT based chemical sensors
LI Yingchun
(Inst. of Micro and Sensor System (IMOS), Otto-von-Guericke-University Magdeburg, Universitaetsplatz 2, 39106 ...)
,
LUCKLUM Ralf
(Inst. of Micro and Sensor System (IMOS), Otto-von-Guericke-University Magdeburg, Universitaetsplatz 2, 39106 ...)
,
BROSE Andreas
(Inst. of Micro and Sensor System (IMOS), Otto-von-Guericke-University Magdeburg, Universitaetsplatz 2, 39106 ...)
,
FLEISCHER Maximilian
(Chemical Sensors, Corporate Res. and Technologies, Siemens AG, Otto-Hahn-Ring 6, 81739 Munich, DEU)
資料名：
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 161 号： 1 ページ： 171-177 発行年： 2012年01月03日
JST資料番号： T0967A ISSN： 0925-4005 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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