文献
J-GLOBAL ID:201202268048497896
整理番号:12A0189713
CMUTに基づく化学センサに対する2段階コーティング技法
A 2-step coating technique for CMUT based chemical sensors
著者 (4件):
LI Yingchun
(Inst. of Micro and Sensor System (IMOS), Otto-von-Guericke-University Magdeburg, Universitaetsplatz 2, 39106 ...)
,
LUCKLUM Ralf
(Inst. of Micro and Sensor System (IMOS), Otto-von-Guericke-University Magdeburg, Universitaetsplatz 2, 39106 ...)
,
BROSE Andreas
(Inst. of Micro and Sensor System (IMOS), Otto-von-Guericke-University Magdeburg, Universitaetsplatz 2, 39106 ...)
,
FLEISCHER Maximilian
(Chemical Sensors, Corporate Res. and Technologies, Siemens AG, Otto-Hahn-Ring 6, 81739 Munich, DEU)
資料名:
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻:
161
号:
1
ページ:
171-177
発行年:
2012年01月03日
JST資料番号:
T0967A
ISSN:
0925-4005
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)