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文献
J-GLOBAL ID：201202268082057498
整理番号：12A1762883
アクティブスクリーンプラズマ窒化法を応用した複合処理における試料台材質の影響
中澤邦成
(関西大 大学院)
,
二井裕瑛
(関西大 大学院)
,
西本明生
(関西大 化学生命工)
資料名：
日本熱処理技術協会講演大会講演概要集
巻： 74th ページ： 9-10 発行年： 2012年
JST資料番号： S0604B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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