文献
J-GLOBAL ID:201202268232367512
整理番号:12A1162069
アニオン高分子電解質添加が水晶化学研磨のためのセリア分散挙動に及ぼす影響
Influence of anionic polyelectrolyte addition on ceria dispersion behavior for quartz chemical mechanical polishing
著者 (5件):
KIM Hyuk-min
(Dep. of Bio-Nano Technol., Hanyang Univ., Ansan 426-791, KOR)
,
PRASANNA VENKATESH R.
(Dep. of Materials Engineering, Hanyang Univ., Ansan 426-791, KOR)
,
KWON Tae-young
(Dep. of Materials Engineering, Hanyang Univ., Ansan 426-791, KOR)
,
PARK Jin-goo
(Dep. of Bio-Nano Technol., Hanyang Univ., Ansan 426-791, KOR)
,
PARK Jin-goo
(Dep. of Materials Engineering, Hanyang Univ., Ansan 426-791, KOR)
資料名:
Colloids and Surfaces. A. Physicochemical and Engineering Aspects
(Colloids and Surfaces. A. Physicochemical and Engineering Aspects)
巻:
411
ページ:
122-128
発行年:
2012年10月05日
JST資料番号:
A0539B
ISSN:
0927-7757
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)