文献
J-GLOBAL ID:201202268331922404
整理番号:12A0584401
Siピッチ格子とAr+イオンビームの相互作用の巨視的パラメータ
Macroscopic parameters of the interaction of an Ar+ ion beam with a Si pitch grating
著者 (6件):
BIZYUKOV Ivan
(Karazin Kharkiv National Univ., Fac. of Physics and Technologies, 31 Kurchatov Ave., Kharkiv 61108, UKR)
,
MUTZKE Andreas
(Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Wendelsteinstr. 1, 17491 Greifswald, DEU)
,
MAYER Matej
(Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Boltzmannstr. 2, 85748 Garching, DEU)
,
LANGHUTH Hagen
(Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Boltzmannstr. 2, 85748 Garching, DEU)
,
KRIEGER Karl
(Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Boltzmannstr. 2, 85748 Garching, DEU)
,
SCHNEIDER Ralf
(Inst. of Physics, Ernst-Moritz-Arndt Univ., Felix-Hausdorff-Str. 6, 17489 Greifswald, DEU)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
278
ページ:
4-7
発行年:
2012年05月01日
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)