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文献
J-GLOBAL ID：201202268401642935
整理番号：12A0479933
酸化剤としてオキソンを使用したルテニウムの化学機械研磨
Chemical Mechanical Planarization of Ruthenium with Oxone as Oxidizer
VICTORIA S.Noyel
(Indian Inst. Technol.-Madras, Chennai, IND)
,
JEBARAJ Josiah
(Clarkson Univ., New York, USA)
,
SUNI Ian Ivar
(Clarkson Univ., New York, USA)
,
RAMANATHAN S.
(Indian Inst. Technol.-Madras, Chennai, IND)
資料名：
Electrochemical and Solid-State Letters
(Electrochemical and Solid-State Letters)
巻： 15 号： 3 ページ： H55-H58 発行年： 2012年
JST資料番号： W1290A ISSN： 1099-0062 CODEN： ESLEF6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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