文献
J-GLOBAL ID:201202268993327620
整理番号:12A0121629
電気化学エネルギー発生・蓄積システム用の原子層蒸着
Atomic layer deposition for electrochemical energy generation and storage systems
著者 (5件):
PENG Qing
(Electrical and Computer Engineering Dep., Duke Univ., Durham, North Carolina 27708)
,
LEWIS Jay S.
(Res. Triangle Inst., Res. Triangle Park, North Carolina 27709)
,
HOERTZ Paul G.
(Res. Triangle Inst., Res. Triangle Park, North Carolina 27709)
,
GLASS Jeffrey T.
(Electrical and Computer Engineering Dep., Duke Univ., Durham, North Carolina 27708)
,
PARSONS Gregory N.
(Dep. of Chemical and Biomolecular Engineering, North Carolina State Univ., 911 Partners Way, Raleigh, North Carolina ...)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
30
号:
1
ページ:
010803
発行年:
2012年01月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)