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文献
J-GLOBAL ID：201202268993327620
整理番号：12A0121629
電気化学エネルギー発生・蓄積システム用の原子層蒸着
Atomic layer deposition for electrochemical energy generation and storage systems
PENG Qing
(Electrical and Computer Engineering Dep., Duke Univ., Durham, North Carolina 27708)
,
LEWIS Jay S.
(Res. Triangle Inst., Res. Triangle Park, North Carolina 27709)
,
HOERTZ Paul G.
(Res. Triangle Inst., Res. Triangle Park, North Carolina 27709)
,
GLASS Jeffrey T.
(Electrical and Computer Engineering Dep., Duke Univ., Durham, North Carolina 27708)
,
PARSONS Gregory N.
(Dep. of Chemical and Biomolecular Engineering, North Carolina State Univ., 911 Partners Way, Raleigh, North Carolina ...)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 30 号： 1 ページ： 010803 発行年： 2012年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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