文献
J-GLOBAL ID:201202269160720650
整理番号:12A0636877
ナノ結晶ダイヤモンド膜成長を目的とした線状アンテナ・マイクロ波CVD装置のパルスプラズマ研究
Pulsed plasmas study of linear antennas microwave CVD system for nanocrystalline diamond film growth
著者 (5件):
VLCEK Jan
(Inst. Chemical Technol. Prague, Prague, CZE)
,
FENDRYCH Frantisek
(Inst. Physics, Acad. Sci. Czech Republic, Prague, CZE)
,
TAYLOR Andrew
(Inst. Physics, Acad. Sci. Czech Republic, Prague, CZE)
,
NOVOTNY Michal
(Inst. Physics, Acad. Sci. Czech Republic, Prague, CZE)
,
LIEHR Michael
(Technical Consulting, Buedingen, DEU)
資料名:
Journal of Materials Research
(Journal of Materials Research)
巻:
27
号:
5
ページ:
863-867
発行年:
2012年03月14日
JST資料番号:
D0987B
ISSN:
0884-2914
CODEN:
JMREEE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)