文献
J-GLOBAL ID:201202269352272520
整理番号:12A1589294
RF MEMSのための密閉ウエハレベルパッケージング:共振器性能に対する影響
Hermetic Wafer-Level Packaging for RF MEMs: Effects on Resonator Performance
著者 (8件):
HENRY M. David
(Sandia National Lab., NM)
,
GRETH K. Douglas
(Sandia National Lab., NM)
,
NGUYEN Janet
(Sandia National Lab., NM)
,
NORDQUIST Christopher D.
(Sandia National Lab., NM)
,
SHUL Randy
(Sandia National Lab., NM)
,
WIWI Mike
(Sandia National Lab., NM)
,
PLUT Thomas A.
(Sandia National Lab., NM)
,
OLSSON Roy H., III
(Sandia National Lab., NM)
資料名:
Proceedings. Electronic Components & Technology Conference
(Proceedings. Electronic Components & Technology Conference)
巻:
62nd Vol.1
ページ:
362-369
発行年:
2012年
JST資料番号:
H0393A
ISSN:
0569-5503
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)