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文献
J-GLOBAL ID：201202270456564849
整理番号：12A0746421
スパッタされた原子の源の深さ: 低エネルギー領域との相関を識別するための関連するターゲット特性への依存性の探査
Depth of origin of sputtered atoms: Exploring the dependence on relevant target properties to identify the correlation with low-energy ranges
WITTMAACK Klaus
(Helmholtz Zentrum Muenchen, Inst. fuer Strahlenschutz, D-85758 Neuherberg, DEU)
,
MUTZKE Andreas
(Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Teilinstitut Greifswald, D-17491 Greifswald, DEU)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 281 ページ： 37-44 発行年： 2012年06月15日
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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