文献
J-GLOBAL ID:201202270456564849
整理番号:12A0746421
スパッタされた原子の源の深さ: 低エネルギー領域との相関を識別するための関連するターゲット特性への依存性の探査
Depth of origin of sputtered atoms: Exploring the dependence on relevant target properties to identify the correlation with low-energy ranges
著者 (2件):
WITTMAACK Klaus
(Helmholtz Zentrum Muenchen, Inst. fuer Strahlenschutz, D-85758 Neuherberg, DEU)
,
MUTZKE Andreas
(Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Teilinstitut Greifswald, D-17491 Greifswald, DEU)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
281
ページ:
37-44
発行年:
2012年06月15日
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)