文献
J-GLOBAL ID:201202270894246361
整理番号:12A0655567
実時間時計用の静電的に調節可能なピエゾ電気オンシリコンのミクロ機械共振器
Electrostatically Tunable Piezoelectric-on-Silicon Micromechanical Resonator for Real-Time Clock
著者 (3件):
SERRANO Diego E.
(Georgia Inst. Technol., GA)
,
TABRIZIAN Roozbeh
(Georgia Inst. Technol., GA)
,
AYAZI Farrokh
(Georgia Inst. Technol., GA)
資料名:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻:
59
号:
3
ページ:
358-365
発行年:
2012年03月
JST資料番号:
H0369A
ISSN:
0885-3010
CODEN:
ITUCER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)