文献
J-GLOBAL ID:201202271029165484
整理番号:12A1524981
電解エッチングを用いた精密銅微小コイルの製造
Fabrication of precise copper micro-coils using electrolytic etching
著者 (2件):
HORIUCHI Toshiyuki
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
ISHII Hidetoshi
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
97
ページ:
212-215
発行年:
2012年09月
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)