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文献
J-GLOBAL ID：201202271401820842
整理番号：12A1306331
一軸引張下にあるAl-Si-Cu構造薄膜の準静的及び動的機械的性質
Quasistatic and dynamic mechanical properties of Al-Si-Cu structural films in uniaxial tension
FUJII Masayuki
(Dep. of Mechanical and Systems Engineering, Univ. of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2201, JPN)
,
NAMAZU Takahiro
(Dep. of Mechanical and Systems Engineering, Univ. of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2201, Japan and Japan ...)
,
FUJII Hiroki
(Dep. of Mechanical and Systems Engineering, Univ. of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2201, JPN)
,
MASUNISHI Kei
(Toshiba Corp., Corporate Res. & Dev. Center, 1 Komukai, Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 212-8582, JPN)
,
TOMIZAWA Yasushi
(Toshiba Corp., Corporate Res. & Dev. Center, 1 Komukai, Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 212-8582, JPN)
,
INOUE Shozo
(Dep. of Mechanical and Systems Engineering, Univ. of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2201, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30 号： 3 ページ： 031804-031804-9 発行年： 2012年05月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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