文献
J-GLOBAL ID:201202271432801471
整理番号:12A1710451
微視結晶組織制御によるめっき銅薄膜配線の強度・信頼性向上
著者 (4件):
斎藤直樹
(東北大 大学院工学研究科)
,
村田直一
(東北大 大学院工学研究科)
,
鈴木研
(東北大 大学院工学研究科 エネルギー安全科学国際研究セ)
,
三浦英生
(東北大 大学院工学研究科 エネルギー安全科学国際研究セ)
資料名:
エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM)
(エレクトロニクス実装学会春季講演大会論文集(CD-ROM))
巻:
26th
ページ:
ROMBUNNO.8B-14
発行年:
2012年03月
JST資料番号:
X0498B
ISSN:
1880-4616
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)