文献
J-GLOBAL ID:201202272019914493
整理番号:12A0507761
縦型Siナノワイヤの稠密充填アレイの熱酸化
Thermal Oxidation of a Densely Packed Array of Vertical Si Nanowires
著者 (8件):
KURSTJENS R.
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
KURSTJENS R.
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
,
VOS I.
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
DROSS F.
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
POORTMANS J.
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
POORTMANS J.
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
,
MERTENS R.
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
MERTENS R.
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
159
号:
3
ページ:
H300-H306
発行年:
2012年
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)