文献
J-GLOBAL ID:201202273216385024
整理番号:12A0430693
Al2O3/TiO2/Al2O3から成る誘電体構造を含む金属-絶縁体-金属型コンデンサにおける低い漏れ電流
Low leakage current in metal-insulator-metal capacitors of structural Al2O3/TiO2/Al2O3 dielectrics
著者 (4件):
WOO Jong-chang
(School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang Univ., 221 Heukseuk-Dong, Dongjak-Gu, Seoul 156-756, KOR)
,
CHUN Yoon-soo
(School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang Univ., 221 Heukseuk-Dong, Dongjak-Gu, Seoul 156-756, KOR)
,
JOO Young-hee
(School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang Univ., 221 Heukseuk-Dong, Dongjak-Gu, Seoul 156-756, KOR)
,
KIM Chang-il
(School of Electrical and Electronics Engineering, Chung-Ang Univ., 221 Heukseuk-Dong, Dongjak-Gu, Seoul 156-756, KOR)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
100
号:
8
ページ:
081101
発行年:
2012年02月20日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)