文献
J-GLOBAL ID:201202274083898771
整理番号:12A1338258
ディッシング欠陥を抑制するためのハイブリッドポリシリコンの平坦化
A hybrid polysilicon planarization for suppressing dishing defects
著者 (4件):
PARK Sungmin
(Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of Maryland, Coll. Park, MD 20742, USA)
,
YOON Sang-hee
(Wyss Inst. for Biologically Inspired Engineering, Harvard Univ., Cambridge, MA 02138, USA)
,
KIM Hyoungjae
(Korea Inst. of Industrial Technol., 1274 Jisa-dong, Gangseo-gu, Busan 618-230, KOR)
,
JEONG Haedo
(School of Mechanical Engineering, Pusan National Univ., Jangjeon-dong, Geumjeong-gu, Busan 609-735, KOR)
資料名:
Journal of Materials Processing Technology
(Journal of Materials Processing Technology)
巻:
212
号:
12
ページ:
2635-2641
発行年:
2012年12月
JST資料番号:
H0650A
ISSN:
0924-0136
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)