文献
J-GLOBAL ID:201202274240879298
整理番号:12A1598717
めっき銅薄膜配線ストレスマイグレーション支配因子の解明
著者 (5件):
齋藤直樹
(東北大 大学院工学研究科)
,
村田直一
(東北大 大学院工学研究科)
,
玉川欣治
(東北大 大学院工学研究科 エネルギー安全科学国際研究セ)
,
鈴木研
(東北大 大学院工学研究科 エネルギー安全科学国際研究セ)
,
三浦英生
(東北大 大学院工学研究科 エネルギー安全科学国際研究セ)
資料名:
電子情報通信学会論文誌 C
(IEICE Transactions on Electronics (Japanese Edition))
巻:
J95-C
号:
11
ページ:
351-357
発行年:
2012年11月01日
JST資料番号:
S0623C
ISSN:
1345-2827
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)