文献
J-GLOBAL ID:201202274291044336
整理番号:12A0944367
流動層反応器でのトリクロロシランから粒状ポリシリコンの製造
Manufacture of Granular Polysilicon from Trichlorosilane in a Fluidized-Bed Reactor
著者 (3件):
WANG Chenjing
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
WANG Tiefeng
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
WANG Zhanwen
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
資料名:
Chemical Engineering & Technology
(Chemical Engineering & Technology)
巻:
35
号:
5
ページ:
893-898
発行年:
2012年05月
JST資料番号:
A0907C
ISSN:
0930-7516
CODEN:
CETEER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)